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產(chǎn)品型號(hào)：SEC-Z514MGX/Z524MGX
更新日期：2025-04-01簡(jiǎn)要描述：horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z514MGX/Z524MGX小量程0-2sccm，大量程0-50SLM高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.)數(shù)字通訊：DeviceNet
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z514/SEC-Z524/SEC-Z534
暢銷型號(hào)：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212
氣體質(zhì)量流量計(jì)又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡(jiǎn)稱MFC。
主要功能是：控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值，同時(shí)反饋實(shí)際的流量信號(hào)到上位機(jī)。
大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z524是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，國內(nèi)多回收、二次銷售，我公司提供進(jìn)口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等，保證全新進(jìn)口，終身維修。
horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z514MGX/Z524MGX產(chǎn)品特點(diǎn)：
1)多種氣體及多種流量范圍，可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量，現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定；
2)超高精度：±1.0% S.P.(25-100% F.S.); ±0.25% F.S.(≤25% F.S.)；
3)快速響應(yīng)：<1秒(全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點(diǎn))；
4)非常方便的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置操作；
5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存；
6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容；
7)可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號(hào)。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式 | ||||
| 型號(hào)*1 | SEC-Z512、Z514 | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX |
| SEC-Z514MGX | SEC-Z524MGXN | SEC-Z524MGX | ||
| 全標(biāo)準(zhǔn)流量 | 1/2SCCM | 10-50SLM | ||
| (N2轉(zhuǎn)換流量) | 10SCCM-10SLPM | |||
| 閥門類型 | O：通常打開 C：通常關(guān)閉 | |||
| 關(guān)閉控制閥時(shí)的流量 | ≤2% F.S. | |||
| 流量測(cè)量范圍 | 0-100% of F.S. | |||
| 精確性*2 | ±1.0%F.S. | ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.) | ||
| ±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.) | ||||
| 工作溫度 | 5-50°C(建議溫度范圍：15-45°C) | |||
| 響應(yīng) | ≤1秒:超過全流量范圍 | |||
| 直線性 | ≤±0.5% F.S. | |||
| 反復(fù)性 | ≤±0.2% F.S. | |||
| 工作壓差值 | ≤300kPa(d) | |||
| zui大工作壓力 | 450kPa(g) | |||
| 耐壓 | 1000kPa(g) | |||
| 外部泄漏率 | ≤5x10-12 Pa·m3/s(He) | |||
| 流量設(shè)定信號(hào) | 0.1 - 5 V DC (2% - F.S.)；輸入阻抗1MΩ或更高 | |||
| 流量輸出信號(hào) | 0 -5 V DC (0% - F.S.)；zui小負(fù)荷阻力2kΩ或更高 | |||
| 數(shù)字界面 | 地址功能: RS-485(轉(zhuǎn)換速度38,400bps) | |||
| F-Net 協(xié)議,DevceNet | ||||
| 接液部材質(zhì) | 316L 不銹鋼(表面拋光) | |||
| 電源 | +15V±5% 150mA | |||
| -15V±5% 150mA | ||||
| 信號(hào)反應(yīng) | 模擬: D-Sub 9-pin (TOP) | |||
| 數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP) | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭*3 | 1/4 inch VCR | 1/4 inch VCR | 1.5 inch IGS | |
| 選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS | 可選1.125 inch IGS | |||
| 安裝方向 | 自由 | |||
*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
*3IGS：完整氣體系統(tǒng)。
*SCCM 和 SLM是表示氣體流量的記號(hào)。(mL/min,L/min,at 0°C和101.3 kPa)
訂購注意：
請(qǐng)?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。
如是設(shè)備備件的更換，請(qǐng)?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。
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